微纳加工超净间实验室

Nano/Micro Fabrication Lab

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微纳加工超净间实验室

       实验室建有百级和千级洁净工作间,拥有电子束曝光、光刻、金属及介电薄膜沉积、干化刻蚀、离子束加工、形貌表征、压焊等微纳加工仪器设备。超净间对院内外用户开放,用于制备与表征超导、表面离子阱、半导体等微纳量子器件。