极紫外和软X射线光波拥有极短波长和丰富的元素吸收边，是研究纳米结构，半导体器件，量子材料必不可少的工具。随着极紫外光刻技术实现量产，极紫外光应用也正式“走入”千家万户。然而，迄今为止，高效率低成本产生极紫外和软X射线光仍是困扰科学家们的一个重要难题。虽然同步辐射加速器和自由电子激光器等大型光源可解决极紫外或软X射线应用的燃眉之急，但是其高能耗、高造价大体积和有限的数量限制了其广泛应用。另辟蹊径，基于极端非线性的飞秒高次谐波技术已经成为产生极紫外和软X射线激光的最简易方法。经过20多年技术磨练和积累，高次谐波光源已经在材料科学和半导体芯片检测等领域应用中初露锋芒。本报告将从极紫外激光技术的难点出发，讨论高次谐波极紫外激光技术的原理及其发展现状，并介绍其在纳米成像，半导体检测以及量子器件中的重要应用。